酸化物エレクトロニクス研究室

金属酸化物薄膜デバイスを創製する

指導教員:永井 裕己 准教授

研究室では主に、金属酸化物の設計や形成を化学の視点からアプローチしていき、それらを用いた薄膜デバイスの作製を試みます。具体的には、リチウムイオン電池、太陽電池、薄膜トランジスタや超伝導など金属酸化物薄膜を用いた次世代デバイスの実現をめざします。


主な研究
テーマ
酸化物半導体薄膜の形成
酸化物電極の形成
酸化物薄膜デバイスの作製
キーワード 分子プレカーサー法 / 薄膜 / 機能性材料 / デバイス

研究室紹介動画

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