工学院大学(学長：伊藤　慎一郎、所在地：東京都新宿区／八王子市)の坂本 哲夫 教授(応用物理学科)は、超微量元素を選択検出する多重反射レーザー共鳴イオン化分析法に関する研究を進めており、10月4日から31日までオンライン開催される「イノベーション・ジャパン2022～大学見本市&ビジネスマッチング～Online」(主催：国立研究開発法人科学技術振興機構、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構)にて公開します。

レーザー共鳴イオン化は元素固有のエネルギー準位に相当する波長のレーザー光を吸収させることで選択的に狙った元素をイオン化・検出する方法です。しかしながら、微細化が進む半導体デバイス中の局所微量不純物には対応できません。そこで、試料近傍に平面鏡を取り付け、2回若しくは4回、反射させることで、ドップラー効果により制約を受けていたイオン化率を高め、さらなる高感度化に成功しました。何よりも特徴的なのは、方法や構成部品が極めて単純であり、費用対効果が高く、既存の装置にも適用できる点です。固体表面～数ミクロンまでの深さの範囲でppm程度の低濃度まで深さ方向分布や面内分布イメージングが可能です。