工学院大学（学長：今村 保忠、所在地：東京都新宿区／八王子市）は、薄膜に関する研究を多領域で進めており、相川慎也 教授（電気電子工学科）は、薄膜トランジスタを用いたCO₂センサーを考案しました。大学発の研究成果でイノベーションを支援すべく、10月15日から18日に幕張メッセで開催されるデジタルイノベーションの総合展「CEATEC 2024」（主催：一般社団法人 電子情報技術産業協会）で公開します。

温室効果ガス削減に向けて、排出の現状を把握する高度モニタリング技術への要請が高まり、ネットワーク化により分散配置可能なIoTガスセンサーの開発が急務です。IoT化により、空間カバレッジの向上が期待できるとともに、迅速かつ高感度な検出が可能となりますが、そのためには、センサーデバイス自体が安価に作製でき、小型かつ低消費電力であることがキーポイントです。
相川慎也教授が考案した薄膜トランジスタ型CO₂センサーは、低コスト化と小型化が可能であるとともに、半導体薄膜の極性表面を活用することで従来品より低温動作での高感度化を実証しました（図左、図中央）。これは、センサーの消費電力抑制につながる成果です。CH₄などの温室効果ガス検知も適用可能なメカニズムと、薄膜の特徴の一つである集積化から、この一台で複数種の温室効果ガスを同時にセンシングすることも理論上可能です。