9月5日から6日に北海道大学にて開催された国際学会「The 29th International SPACC Symposium」において、電気・電子工学専攻修士2年の杉田直樹さん(結晶成長研究室・山口智広教授)がBest Lecture Awardを受賞しました。

研究題目 : Correlation Between Growth Conditions in Mist CVD Growth of Copper Nitride and Copper Oxides

杉田さんの今回の発表では、ミスト化学気相成長法を用いた窒化銅、酸化銅成長における、成長条件と得られた膜の相関性を示すとともに、窒化・酸化における重要なパラメータについて考察し、議論しました。