機能表面研究センター FMS

概要

プロジェクト名 「微細加工による新機能表面・構造の創成と応用」
研究組織名 機能表面研究センター
研究期間 2013年~2017年
補助事業名 私立大学戦略的研究基盤形成支援事業
略  称 FMS:Functional Microstructured Surfaces Research Center
概  要 微細構造によって発現する表面機能とその加工技術に関する技術体系の構築,および表面機能の種々の分野への応用技術の確立を目的とし,先行プロジェクトの成果と設備を活用し,機能表面創成に関する研究拠点の形成を目指している。

  • 施設・設備関係/16号館MBSC棟

施設

構 造

鉄筋コンクリート造 4階建
(内S (○1階:クリーンルーム、準備室等 ○2階:実験室・研究室)

建築面積

526.56m2

延床面積

1,778.10m2
(うちFMS使用の占有面積母は1330.74m2)

装置・設備関係

研究装置

  • クリーンルーム
  • Deep RIE
  • 集束イオンビーム微細加工装置

研究設備

  • 酸化炉(横型)
  • 電子線描画装置
  • リアクティブ・イオン・エッチング(RIE)
  • ECRイオンシャワー装置
  • スパッタ装置
  • ダイシングマシーン
  • 非接触型3次元形状測定器
  • 原子間力顕微鏡(AFM)
  • レーザ顕微鏡
  • エネルギー分散型X線分析装置
  • 光造形装置
  • YAGレーザ
機能表面研究センター FMSホームページ

総合研究所について